PEEK晶圆梳齿支架
PEEK晶圆梳齿支架（晶圆承载梳、晶圆舟支架），在清洗、刻蚀、烘干、传输制程中作为晶圆的支撑定位件。
核心优势
高纯 PEEK，离子析出低，不污染晶圆。
耐各类湿法化学药液（HF、硫酸、双氧水等）。
低微粒脱落，满足洁净车间使用。
可定制齿距、长度、卡槽深度，适配不同规格晶圆。
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图文详情 参数规格
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一、PEEK性能参数表
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