ESD PEEK保护罩
本款 ESD PEEK 保护罩采用防静电PEEK加工而成，专为半导体晶圆工艺设计，在工艺过程中保护硅片，管控静电，降低颗粒污染。
核心优势
防静电性能
避免静电击穿晶圆、损坏芯片，满足半导体洁净车间静电防护规范。
耐高温，尺寸稳定
长期连续使用温度可达 240℃，短时耐温更高。冷热循环下不易蠕变、变形，保证长时间运行下的装配精度。
低析出、低离子污染
高纯改性配方，不易掉粉，保障晶圆良率，适配半导体洁净室。
优异耐化学腐蚀
耐酸碱、各类光刻药液等腐蚀；刚性好、尺寸稳定，反复冷热循环不易变形。
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图文详情 参数规格
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一、PEEK性能参数表
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